無需美國許可!光刻機巨頭 ASML 給中國開綠燈,DUV 進口無需授權,但 EUV 受限

光刻機,在整個芯片生產製造環節,是最最最核心的設備,技術難度極高。

在全球光刻機市場,日本的尼康、佳能,和荷蘭的 ASML,就佔據了市場 90% 以上份額。而最高級的 EUV(極紫外光)技術,則更是只有荷蘭的 ASML 一家可以掌握。

現在,一個難得的好消息是,光刻機可以進口了,並且美國無需限制。

而這個底氣是半導體巨頭、全球光刻機領頭企業荷蘭的阿斯麥爾(ASML)給中國的。

10 月 14 日,ASML 首席財務官羅傑·達森(Roger Dassen),對向中國出口光刻機的問題作出了表態。他表示:

ASML 可以從荷蘭向中國出口 DUV(深紫外)光刻機,無需美國許可。

這無疑給了中國半導體行業新的希望。

但別高興太早。

ASML 方面也提到:

如果相關係統或零件是從美國出口的,那這些設備仍然需要得到美方的許可。

此外,從 ASML 的表態中也可得知,除了允許進口 DUV 光刻機外,並未提到更先進的 EUV(極紫外)光刻機。

儘管如此,這對於中國半導體行業來說都是一件極大的幸事了。

ASML 為什麼不懼美國禁令?

ASML 為什麼有底氣進口 DUV 光刻機給中國?

Roger Dassen 解釋說:

「如果要解釋一下美國的規定對 ASML 有什麼影響的話,對於的中國客戶,我們還是可以直接從荷蘭向他們出口 DUV 光刻機,無需任何出口許可。」

也就是說,美國僅僅是限制了美國不能給中國出口芯片、光刻機等,但並沒有限制其他國家對中國進口,荷蘭並不在美國的禁令範圍內。

但如果相關係統或零件是從美國出口的,這就另當別論了。

同時他也表示 ASML 將盡最大努力,儘可能為所有客戶繼續提供服務和支持。

值得注意的是,當天也是 ASML 發佈新一季度財報的日子,我們從其財報中也看到了 ASML 出口光刻機的一些原因。

ASML 第三季度財報顯示,ASML 當季總共銷售 60 部光刻系統,凈銷售額為 40 億歐元,凈收入 11 億歐元,毛利率達到了 47.5%,營收攀升至 39.58 億歐元,其中,中國佔據 21% 的份額。

前九個月銷售業績高達 97.24 億歐元(約合人民幣770億元),同比大增近 25%。其中,來自高端 EUV 光刻機的收入佔比達到了總收入的 66%。

此外,ASML 還十分看好中國市場。海關總署數據顯示,今年 1-8 月,我國累計進口了 3334.6 億美元的集成電路,同比大增 22.5%。

據南方新聞網報道,在 9 月 17 日的中國集成電路製造年會上,ASML 全球副總裁、中國區總裁沈波透露,截至當前,中國已經實現了 700 多台 ASML 光刻機的裝機,幾乎所有芯片生產商都購買過該公司的服務。

中國對於 ASML 來說實在是一個大市場。

而 ASML 也一直對中國市場有擴張野心。

在第 23 屆中國集成電路製造年會(CICD 2020)暨廣東集成電路產業發展論壇上,ASML 全球副總裁、中國區總裁沈波就表示:

ASML 在中國大陸成立第一個辦公室迄今已有 20 年,從第一台光刻機開始,就是中國半導體行業的親歷者、見證者、和推動者。未來,ASML 還將持續投入、擴大布局、培養人才,攜手行業夥伴,和中國半導體產業實現共同發展。

此外,資料顯示,2000 年,ASML 在中國天津正式成立大陸地區的第一個辦公室,迄今為止在中國大陸12 個城市有辦事處或分支機構,分別為天津、上海、北京、無錫、武漢、西安、大連、南京、廈門(晉江)、合肥、深圳、廣州。

可以說從一線城市到二三線城市都有 ASML 的布局。在中國受美方的打壓下,ASML 卻在加速中國市場的布局。

這又是一個值得思考的問題。

網友:進口 DUV 光刻機沒用,真正卡脖子的是 EUV

聽聞這一消息,網友也紛紛表態。

在他們看來,中國真正需要的是 EUV 光刻機,ASML 這一做法並不能解燃眉之急,當務之急還是要自力更生。

為什麼這麼說呢?

我們先來看下 DUV 和 EUV 之間的區別。

目前的光刻機主要分為 EUV 光刻機和 DUV 光刻機。

DUV 光刻機,分為干分式與液浸式兩種。其中,液浸式於 ASML 手中誕生,其波長雖然有 193nm,但等效為134nm,經過多重曝光后,液浸式光刻機也能夠達到 7nm 工藝。但是,每多一次曝光都會使得製造成本大大提升,而且良品率也難以控制。

而 EUV 光刻機採用13.5nm波長的光源,是突破 10nm 芯片製程節點必不可少的工具。也就是說,就算DUV(深紫外線)光刻機能從尼康、佳能那裡找到替代,但如果沒有 ASML 的 EUV 光刻機,芯片巨頭台積電、三星、英特爾的 5nm 產線就無法投產。

EUV 的重要性可想而知。

事實上,早在今年 3 月,中芯國際就向 ASML 購買了一台大型光刻機,外界傳言為 EUV,但中芯國際也在此後證實並非外界傳言的極紫外光刻機。

這也進一步證明了 EUV 的重要性。

國內光刻機困境

那麼,國內光刻機的發展現狀如何呢?

根據百度百科的解釋,一台光刻機由上萬個部件組成,有人形容稱這是一種集合了數學、光學、流體力學、高分子物理與化學、表面物理與化學、精密儀器、機械、自動化、軟件、圖像識別領域頂尖技術的產物。

而一台光刻機的售價從數千萬美元高至過億美元,可見光刻機的重要性。

在全球範圍內,光刻機市場幾乎被 3 家廠商瓜分:荷蘭的阿斯麥(ASML)、日本的尼康(Nikon)和佳能(Canon)。

在這 3 家中,ASML 又是當之無愧的一哥。據中銀國際報告,阿斯麥全球市場市佔率高達 89%,其餘兩家的份額分別是 8% 和 3%,加起來僅有 11%。在 EUV 光刻機市場中,ASML 的市佔率則是100%。

而中國對於光刻機的製造幾乎還在起步階段。

目前,中國芯片製造方面頂尖的中芯國際只有 28 納米的生產工藝,14 納米工藝才剛剛開始量產,且中國芯片製造只能佔到世界 7.3%的份額。

但近年來,國家加大了對半導體行業的投入。

2019 年 4 月,武漢光電國家研究中心甘棕松團隊,採用二束激光,在自研的光刻膠上,突破光束衍射極限的限制,並使用遠場光學的辦法,光刻出最小 9nm 線寬的線段。

2020 年初,中科院對外宣稱已經攻克了 2nm 工藝的難題,相關研究成果已經發佈到國際微電子器件領域的期刊當中。

5 月 19 日,上海微電子裝備(集團)股份有限公司稱,其自研的高亮度 LED 步進投影光刻機,是中國首檯面向 6 英寸以下中小基底先進光刻應用領域的光刻機產品,已從 1200 多個申報項目中成功突圍,入選「上海設計 100+」。

10 月15 日,南京集成電路產業服務中心副總經理呂會軍向媒體證實中國將建立一所南京集成電路大學,專門培養實踐型芯片研發人才,以加速芯片的國產化。

誠然,中國在光刻機這條路上還有很長的路要走,但在經歷了卡脖子的困境后,相信中國企業已經意識到自主研發的重要性。而美國長期的封鎖和打壓只會激發中國放棄僥倖,集中力量,讓核心科技硬起來。

同時,對於國內的光刻企業還要給予耐心,不能急功近利。

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參考資料:

【1】https://www.iamnotresponsible.com/2020/10/15/asml-no-u-s-license-is-required-to-export-duv-lithography-machine-from-the-netherlands-to-china/

【2】https://new.qq.com/omn/20201015/20201015A0IJI900.html

【3】https://www.fool.com/earnings/call-transcripts/2020/10/14/asml-holding-nv-asml-q3-2020-earnings-call-transcr/

【4】https://www.huxiu.com/article/364216.html

【5】https://www.toutiao.com/a6873410848900153869/

【6】https://www.zhihu.com/question/325314594/answer/695307831


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